旋片式真空泵排氣閥
　　
　　排氣閥是旋片真空泵主要易損件之一，將影響泵的抽氣性能并產(chǎn)生噪音。排氣閥有兩種形式：一種是用橡膠墊做閥片，另一種是用布制酚醛層壓板或彈簧鋼片做閥片，排氣閥必須浸在泵油中，在排氣過(guò)程中，壓縮氣體推開(kāi)排氣閥片，穿過(guò)泵油后排出，泵油起到密封作用。在雙級(jí)旋片式真空泵中，當(dāng)高真空級(jí)腔不等時(shí)，需要在兩級(jí)之間設(shè)置輔助排氣閥，輔助排氣閥的作用是在入口壓力較高、經(jīng)高真空腔壓縮的氣體已經(jīng)達(dá)到排氣壓力時(shí)，輔助排氣閥打開(kāi)，部分氣體由輔助排氣閥排出，部分氣體被低真空級(jí)腔抽走。隨著泵入口壓力的降低，輔助排氣閥排氣量逐漸減小，直至后關(guān)閉。